RIBER et IntelliEPI qualifient la performance du MBE 8000
14 Giugno 2023 - 5:45PM
RIBER et IntelliEPI qualifient la performance du MBE 8000
RIBER et
IntelliEPI qualifient
la performance
du MBE 8000
- Résolution
d'émission laser de pointe, 3 nm,
pour le marché des applications VCSEL
- Très
grandes
uniformités d'épaisseur
et de dopage sur des wafers de 8 x 6 pouces ou 4 x 8
pouces
-
Qualification finale
attendue d'ici le 4ème
trimestre pour les applications
optoélectroniques et microélectroniques à
grand volume
Bezons
(France), 14
juin 2023 –
17h45 –
RIBER, leader mondial des équipements d'épitaxie
par jets moléculaires (MBE) pour
l'industrie des semi-conducteurs, annonce
des étapes majeures dans
son programme de développement conjoint
avec IntelliEPI pour la
qualification de sa nouvelle
plate-forme de production MBE 8000.
En tant que nouveau produit phare de Riber, le
MBE 8000 est l'outil de production MBE le plus performant
disponible sur le marché, capable de traiter des lots de huit
wafers de 150 mm (6 pouces) ou de quatre de 200 mm (8 pouces). La
conception de cette machine bénéficie de plus de 20 ans
d'expérience dans les systèmes MBE de production, opérant
quotidiennement dans le monde avec des performances et une
stabilité de processus exceptionnelles, permettant ainsi de réduire
le coût de possession d’un tel équipement.
À la suite de la livraison de la première
plateforme MBE 8000 et après un travail de qualification approfondi
mené en étroite collaboration avec IntelliEPI, les résultats
obtenus ont dépassé les attentes pour une telle technologie,
notamment en termes d'homogénéités, de densités de défauts,
d’augmentation de rendement et d’interfaces abruptes, élément
essentiel pour les structures de super-réseaux afin d'obtenir des
lasers hautes performances.
Ces performances, associées à un contrôle élevé
de la répétitivité des cycles de production à grande échelle,
permettront le développement de lasers de nouvelle génération, en
particulier pour la technologie VCSEL (laser à cavité verticale
émettant par la surface) qui connaît une croissance rapide avec
d'importantes opportunités commerciales dans le domaine de la
reconnaissance faciale à travers l’écran des smartphones.
Dans son dernier rapport sur les VCSEL, le
Groupe Yole précise : un « changement majeur attendu est le
déplacement de la longueur d'onde de 940 à 1 380 nm (…) pour
parvenir à une intégration des VCSEL derrière les écrans à diodes
électroluminescentes organiques (OLED), qui sont transparents à
cette longueur d'onde. La première application pourrait être le
détecteur de proximité placé sous l'écran (…). » (source)
En plus du marché des VCSEL, le contrôle précis
de l'uniformité du dopage et la stabilité des processus offerts par
la plate-forme MBE 8000 permettront également d'améliorer les
performances des dispositifs microélectroniques, telle la
conductivité.
Au cours des derniers mois, à mesure que les
résultats ont été communiqués à plusieurs clients industriels,
l’intérêt pour cette machine s’est rapidement accru, donnant lieu à
des discussions en vue d'un achat potentiel.
Selon Yung-Chung Kao, Président Directeur
Général d'IntelliEPI, « D'après l'évaluation initiale, le MBE 8000
de Riber a montré des performances très impressionnantes en termes
de capacité à produire des matériaux épigraphiques de haute qualité
sur une si grande surface de substrat avec une excellente
uniformité de composition et d'épaisseur sur un wafer de 8x6".
Grâce à cette amélioration, la plateforme MBE 8000 offre une
solution pour rendre la technologie MBE de production à grande
échelle plus compétitive, en particulier pour les opportunités de
marché à haute performance et à haut débit. »
Christian Dupont, Président du Directoire de
Riber : « Grâce aux efforts des équipes de Riber et
d'IntelliEPI, nous avons franchi une étape importante pour la
qualification du MBE 8000. Les résultats fournis par la machine
dépassent nos objectifs initiaux. Avec un coût de possession
optimal et une grande capacité, l'équipement MBE 8000 a
d’importantes perspectives commerciales. Cette étape que nous avons
franchie dans le cadre de ce programme de développement conjoint
avec IntelliEPI confirme notre capacité à introduire la technologie
MBE dans l'industrie des semi-conducteurs à grande
échelle. »
À propos
d’IntelliEPI
Intelligent Epitaxy Technology, Inc.
(IntelliEPI) est l'un des principaux fournisseurs de plaquettes
d'épitaxie semi-conductrices composées à base d'épitaxie destinées
aux industries de l'électronique et de l'optoélectronique à partir
de GaAs, InP, GaSb et d'autres substrats. IntelliEPI utilise des
systèmes d'épitaxie par jets moléculaires (MBE) de production
multi-plaquettes équipés d'une technologie propriétaire de
surveillance de la croissance in situ en temps réel pour fabriquer
des plaquettes épi hautes performances. La société a été créée au
Texas en 1999.
www.intelliepi.com
À propos de
RIBER
RIBER est le leader mondial d’équipement
d’épitaxie par jets moléculaires (MBE). L’entreprise conçoit et
fabrique des équipements destinés à l’industrie des
semi-conducteurs, et offre à ses clients un support scientifique et
technique (hardware et software) afin de garantir la maintenance de
ses équipements, l’optimisation de leurs performances et de leurs
rendements.
En accélérant les performances de
l’électronique, les équipements RIBER jouent un rôle essentiel dans
le développement de dispositifs semi-conducteurs avancés qui sont
utilisés dans de nombreuses applications, notamment les
technologies de l’information, la photonique (lasers, capteurs...),
les réseaux de télécommunications 5G ou la recherche, dont le
domaine de l’ordinateur quantique.
RIBER est labellisée Entreprise innovante par
BPI France et est cotée sur le marché Euronext Growth Paris (ISIN :
FR0000075954).
www.riber.com
Contacts
RIBER : Christian Dupont|
tel: +33 (0)1 39 96 65 00 | invest@riber.com
CALYPTUS : Cyril Combe |
tel: +33 (0)1 53 65 68 68 | cyril.combe@calyptus.net
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